Dependence of contrast on pressure using segmental ionization detector in environmental SEM

0022849 - ÚPT 2006 CZ eng K - Conference Paper (Czech conference)
Černoch, P. - Jirák, Josef - Autrata, Rudolf
Dependence of contrast on pressure using segmental ionization detector in environmental SEM.
[Závislost kontrastu na tlaku segmentového ionizačního detektoru v environmentální REM.]
Mikroskopie 2005. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2005, s. 32.
[Mikroskopie 2005. Nové Město na Moravě (CZ), 24.2.2005-25.2.2005]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : ionization detector * ESEM
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Ionization detector utilizes impact ionization in electrostatic field in gaseous environment in the specimen chamber for signal detection. The contrasts between four metal materials using ionization detector with three concentric electrodes in various connection of the electrodes were monitored. As experimentally determined, the grounding of the outer electrode has a positive influence on the image contrast.

Ionizační detektor využívá k detekci signálu nárazová ionizace v elektrostatickém poli v plynném prostředí komory vzorku. Byly sledovány kontrasty mezi čtyřmi kovovými materiály při použití ionizačního detektoru se třemi soustřednými elektrodami s různým zapojením těchto elektrod. Experimentem bylo zjištěno, že uzemnění vnější elektrody má kladný vliv kontrast mikrosnímku.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0111559