Technika kombinace kontaktních a bezkontaktních dat na optických prvcích

0551136 - ÚPT 2022 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Klapetek, P. - Valtr, M. - Řeřucha, Šimon - Holá, Miroslava - Číp, Ondřej
Technika kombinace kontaktních a bezkontaktních dat na optických prvcích.
[Technique for combination of contact and non-contact data on optical elements.]
Internal code: APL-2021-16 ; 2021
Technical parameters: Ověřená technologie dovoluje vyhodnotit drsnost a tvar testovaného vzorku pomocí snímání rozptylu světla od povrchu vzorku a dále kontaktní odměřením profilu povrchu. Následnou fúzí dat z obou měřicích metod lze dosáhnout rozlišitelnosti nehomogenit < 1 mikrometr, které se mohou na povrchu vzorku vyskytnout.
Economic parameters: Ověřená technologie realizovaná při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Petr Klapetek, Ph.D., pklapetek@cmi.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : surface diagnostics * optical metrology * cross-section scanning * light difraction sensing
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)

Vyvinutá a ověřená technika se zaměřuje na fúzi dat při měření optických vzorků s velkými úhly dopadu kontrolních paprsků. Kombinací vysokorychlostních bezkontaktních optických měření a pomalých dotykových měření je dosaženo požadované přesnosti. Technika fúze dat je založena na adaptivním vzorkování a triangulaci všech datových bodů v jednom kroku. Technika umožňuje zkoumání drsnosti a tvarových odchylek povrchů, zejména oblých povrchů, jako jsou optické čočky sférických a asférických tvarů.

The developed and verified technique focuses on data fusion in the measurement of optical samples with large angles of incidences of inspection beams. By a combination of high-speed non-contact optical measurements and slow tactile measurements, both the desired accuracy is achieved. The data fusion technique is based on adaptive sampling and triangulation of all the data points at one step. The method allows the investigation of roughness and shape deviations of surfaces, especially round surfaces, such as optical lenses of spherical and aspherical shapes.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326580