Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů

0550826 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Pokorná, Zuzana - Dupák, Libor
Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů.
[Manipulator with micrometric shift for a miniaturised secondary electron spectrometer.]
Internal code: APL-2021-06 ; 2021
Technical parameters: Manipulátor držáku vzorku tvaru pravidelného osmihranu, kde pojezdy jsou realizovány formou tří bronzových pružin. Ty svírají mezi sebou úhel 120°, přičemž umožňují posun v rozsahu +- 1mm s přesností 10μm v každé ose nezávisle.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D., fumici@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : manipulator * scanning electron microscope * secondary electron spectrometer
OECD category: Materials engineering

Manipulátor je součástí pozorovací komory miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů, tak aby díky němu nebyla omezena zkoumaná oblast polovodičového vzorku na velikost aktuálního zorného pole elektronového mikroskopu. Je tak možné mapovat velké plochy dopovaných struktur na vzorku a rovněž zacílit oblast zájmu pod primární svazek elektronů.

The manipulator is a part of the observation chamber of the miniaturised secondary electron spectrometer, allowing it to observe an arbitrarily large area of the sample without field of view limitations imposed by the narrow entrance aperture of the spectrometer. Thanks this it is possible to map doped structures on a large scale and also to move any area of interest under the incoming electron beam with great precision.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326134