Elektrostatický tubus pro 2D detekci v UHV systému (mimo-osový pixelový detektor)

0536443 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Konvalina, Ivo - Frank, Luděk - Radlička, Tomáš - Zobač, Martin - Vlček, Ivan - Sýkora, Jiří - Klein, Pavel - Müllerová, Ilona - Materna Mikmeková, Eliška
Elektrostatický tubus pro 2D detekci v UHV systému (mimo-osový pixelový detektor).
[Electrostatic column for 2D detection in UHV system (off-axis pixelated detector).]
Internal code: APL-2020-06 ; 2020
Technical parameters: Funkční vzorek projekčního elektrostatického tubusu tvoří tři elektrostatické multipólové korektory, jedna rotačně symetrická elektrostatická čočka, stínítko, řídící elektronika s programovatelnými napěťovými zdroji a kabeláž. Výsledek byl realizován pro ověření elektronově optických vlastností projekčního elektrostatického tubusu v rámci programu Národního centra kompetence - projekt Centrum elektronové a fotonové optiky.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ivo Konvalina, Ph.D., kimiki@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : electron microscopy * electrostatic column * multipole corrector * electrostatic lens * 2D detection
OECD category: Electrical and electronic engineering

Funkční vzorek byl navržen pro mimoosový detekční systém, který je nainstalován v komerčním elektronovém tubusu od firmy Delong Instruments. Elektronový tubus je součástí ultra vysokovakuového rastrovacího elektronového mikroskopu s pomalými elektrony vyvíjeném na Ústavu přístrojové techniky. Projekční tubus připojený k detekčnímu bloku umožňuje zformovat svazek signálních elektronů a jeho zvětšenou stopu promítnout do detekční roviny. Díky tomu budeme moci použít pixelový polovodičový detektor typu Medipix, pro úhlovou analýzu detekovaného signálu. Projekční tubus je tvořen třemi multipólovými korektory, elektrostatickou čočkou, stínítkem a řídící elektronikou s programovatelnými napěťovými zdroji.

Functional sample was designed and assembled for an off-axis detection system installed in a commercial electron column from Delong Instruments. The electron column is part of an ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons developed at the Institute of Scientific Instruments. The projection column is connected to the detection block and allows to form a beam of signal electrons and to project its enlarged spot into the detection plane. Thanks to this, we will be able to use a pixel semiconductor detector of the Medipix type, for angular analysis of the detected signal. The projection column consists of three multiple correctors, an electrostatic lens, a screen and control electronics with programmable voltage sources.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314219