SMV-2016-04: Výzkum a vývoj vysokonapěťového zdroje 100 kV

0468286 - ÚPT 2017 RIV CZ cze V - Research Report
Zobač, Martin - Vlček, Ivan
SMV-2016-04: Výzkum a vývoj vysokonapěťového zdroje 100 kV.
[SMV-2016-04: Research and development of 100 kV high voltage power supply.]
Brno: TESCAN Brno, s.r.o., 2016. 10 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : high voltage * high tension * power supply * FEG * TEM * electron lithography
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Náplní je pokračování vývoje vysokonapěťového zdroje urychlovacího napětí s integrovaným
nízkonapěťovým zdrojem napájení plovoucí části a výroba prototypu tohoto zdroje. Zdroj primárního
napětí je určen pro aplikaci v litografii nebo pro TEM.


The project deals with research and development of high voltage power supply for particle optics accelerator with integrated power supply for FEG. The supply is intended for electron lithography and for TEM.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0266185