0385756 - ÚPT 2013 RIV CZ cze J - Journal Article
Lazar, Josef - Hrabina, Jan - Šerý, Mojmír - Číp, Ondřej - Čížek, Martin
Laserový systém pro odměřování 3D polohy s nanometrovým rozlišením pro mikroskopy.
[Laser system for measurement of the 3D position with nanometre resolution for microscopes.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 57, č. 10 (2012), s. 283-286. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA ČR GA102/09/1276; GA TA ČR TA02010711; GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT ED0017/01/01; GA ČR GPP102/11/P820
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : coordinate position sensing * nanometrology * 3D position * atomic force microscopy * local probe techniques * electron microscopy
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers

Souřadnicové odměřování polohy umožňuje povýšit zobrazovací techniky mikroskopů na kvantifikovatelné měření. Zvláště techniky zobrazování v mikro a nanosvětě, překračující bariéru rozlišení danou vlnovou délkou viditelného světla, jsou vhodnými metodami, na jejichž základě lze konstruovat měřící systémy s nejlepším rozlišením. Mikroskopie atomárních sil, ostatní sondové mikroskopické metody a elektronová mikroskopie se po doplnění o přesné polohování a odměřování polohy sondy a vzorku mohou stát nástrojem pro nanometrologii - měření geometrických veličin v nanosvětě. Popis takového měřícího a polohovacího systému je předmětem tohoto článku.

Coordinate position sensing allows upgrading the imaging microscope techniques up to quantified measuring. Especially imaging techniques in the micro and nanoworld overcoming the barrier of resolution given by the wavelength of visible light are a suitable basis for design of measuring systems with the best resolution possible. Atomic force microscopy, other local probe techniques and electron microscopy when equipped with precision positioning and measurement of the probe and sample may become a tool for nanometrology – measurement of geometrical quantities on the nanoscale. Description of such a measuring and positioning system is a subject of this article.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0215570