Deposition of PZT Thin Films on Copper-Coated Polymer Foils-Challenges and Perspectives

0336530 - FZÚ 2010 RIV GB eng J - Journal Article
Suchaneck, G. - Hubička, Zdeněk - Dejneka, Alexandr - Guenther, M. - Guenther, S. - Meyer, B. - Jastrabík, Lubomír - Gerlach, G. - Schultheiss, E.
Deposition of PZT Thin Films on Copper-Coated Polymer Foils-Challenges and Perspectives.
[Depozice PZT vrstev na poměděné polymerní substráty - výzvy a perspektivy.]
Ferroelectrics. Roč. 379, č. 1 (2009), s. 331-336. ISSN 0015-0193. E-ISSN 1563-5112
R&D Projects: GA ČR GC202/09/J017; GA AV ČR KJB100100703
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : reactive sputter-deposition * plasma-jet system * hydrothermal method
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 0.447, year: 2009

In this work, the synthesis of (111)-textured PZT on Cu-coated polymer substrates is demonstrated by means of a RF-modulated plasma-jet system comprising a hollow cathode for reactive sputtering. Ion bombardment during film growth and lead stoichiometry are shown to be key parameters for the improvement of the PZT thin film quality.

V této práci jsou prezentovány možnosti depozice (111)-texturovaných PZT vrstev na poměděné polymerní fólie pomocí RF-modulovaného plasma-jet systému s dutou katodou. Bylo zjištěno, že bombardování ionty během růstu vrstvy a úprava obsahu olova jsou klíčovými parametry pro zvýšení kvality deponovaných vrstev.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0180742