Characterization of the focused beam from a 10-Hz desktop capillary-discharge 46.9-nm laser

0335795 - FZÚ 2010 RIV US eng C - Conference Paper (international conference)
Vyšín, Luděk - Burian, T. - Chalupský, Jaromír - Grisham, M. - Hájková, Věra - Heinbuch, S. - Jakubczak, Krzysztof - Martz, D. - Mocek, Tomáš - Pira, P. - Polan, Jiří - Rocca, J.J. - Rus, Bedřich - Sobota, Jaroslav - Juha, Libor
Characterization of the focused beam from a 10-Hz desktop capillary-discharge 46.9-nm laser.
[Charakterizace fokusovaného 46,9 nm svazku 10 Hz stolního kapilárního laseru.]
Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics II. Bellingham: SPIE, 2009 - (Juha, L.; Bajt, S.; Sobierajski, R.), 73610O/1-73610O/8. Proceedings of SPIE, 7361. ISBN 9780819476357. ISSN 0277-786x.
[Damage to VUV, EUV, and X-Ray Optics II. Prague (CZ), 21.04.2009-23.04.2009]
R&D Projects: GA AV ČR KAN300100702; GA MŠMT LC510; GA MŠMT(CZ) LC528; GA MŠMT LA08024; GA AV ČR IAAX00100903; GA ČR GA203/06/1278; GA AV ČR IAA400100701
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100523; CEZ:AV0Z20650511
Keywords : XUV laser * capillary-discharge laser * annular intensity distribution * beam imprint * photo-induced erosion
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
http://dx.doi.org/10.1117/12.822759

The desktop size capillary-discharge Ne-like Ar laser (CDL) providing 10-μJ nanosecond pulses of coherent 46.9-nm radiation with a repetition rate up to 12 Hz was developed and built at the Colorado State University in Fort Collins and then installed in Prague. The beam of the laser was focused by a spherical mirror covered with Si/Sc multilayer coating onto the surface of poly(methyl methacrylate) - PMMA. Interaction parameters vary by changing the distance between sample surface and beam focus. The samples were exposed to various numbers of shots. Analysis of damaged PMMA by atomic force (AFM) and Nomarski (DIC – differential interference contrast) microscopes allows not only to determine the key characteristics of the focused beam (e.g. Rayleigh’s parameter, focal spot diameter, tight focus position, etc.) but also to investigate mechanisms of the radiation-induced erosion processes.

Neonu podobný argonový kapilární laser generující koherentní záření s energií 10-μJ v nanosekundovém pulzu a opakovací frekvencí až 12 Hz byl vyvinut a postaven v Colorado State University ve Fort Collins a poté instalován v Praze. Svazek tohoto laseru byl fokusován sférickým zrcadlem pokrytého multivrstvou Si/Sc na povrch polymetylmetakrylátu - PMMA. Parametry interakce byly měněny změnou vzdálenosti mezi povrchem vzorku a ohniskem svazku. Vzorky byly ozářeny různým počtem pulzů. Analýza poškození PMMA mikroskopem atomárních sil (AFM) a Nomarského (DIC – differential interference contrast) mikroskopem umožňuje nejen stanovit klíčové parametry fokusovaného svazku (např. Rayleighův parametr, průměr stopy fokusovaného svazku, polohu ohniska, atd.), ale též studovat mechanismy radiačně-indukovaných erozních procesů.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0180164