Wavefront sensing of XUV beams

0334230 - FZÚ 2010 RIV US eng C - Conference Paper (international conference)
Homer, Pavel - Rus, Bedřich - Nejdl, Jaroslav - Polan, Jiří
Wavefront sensing of XUV beams.
[Senzor vlnoplochy pro XUV svazky.]
EUV and X-Ray Optics: Synergy between Laboratory and Space. Bellingham: SPIE, 2009 - (Hudec, R.; Pina, L.), 736010/1-736010/11. Proceedings of SPIE, 7360. ISBN 9780819476340. ISSN 0277-786X.
[EUV and X-Ray Optics: Synergy between Laboratory and Space. Prague (CZ), 20.04.2009-22.04.2009]
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) 7E08099; GA MŠMT(CZ) LC528
EU Projects: European Commission(XE) 506350 - LASERLAB-EUROPE
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100523
Keywords : x-ray * XUV * wavefront * laser * PDI * sensor
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
http://dx.doi.org/10.1117/12.823165

For the purpose of the wavefront profile measurement of XUV beams emitting at 21.2 nm and 30 nm, we designed the PDI (Point Diffraction Interferometer) wavefront sensor. PDI is a self-referencing monolithic device consisting of a thin neutral filter and a very small pinhole located near the axis of the XUV beam focal spot. The small pinhole works as a diffraction aperture generating a reference spherical wave, and working as well as a spatial filter. The material of the thin foil is partially transparent for the XUV radiation, and it determines the visibility of the interference fringes. The interference pattern is recorded by an XUV detector placed behind the foil. From the information encoded in the pattern it is possible sequentially to reconstruct the beam wavefront profile. We will discuss the design and optimization of the PDI wavefront sensor setup.

Pro účely měření profilu vlnoplochy svazků emitujících na vlnových délkách 21,2 nm a 30 nm jsme navrhli PDI senzor vlnoplochy (bodově difrakční interferometr). PDI je samo-referenční monolitické zařízení, které se skládá z tenkého neutrálního filtru a velice mále apertury, která je umístěna blízko osy ohniskové roviny měřeného svazku. Tato malá dírka funguje jako difrakční apertura, jenž generuje referenční kulovou vlnu a současně zastává funkci prostorového filtru. Materiál tenkého filtru je částečně průhledný pro XUV záření a určuje viditelnost interferenčních proužků. Vzniklý interferogram je snímán pomocí XUV detektoru, který je umístěn za folií. Z informací takto zaznamenaných je možné následně rekonstruovat profil vlnoplochy měřeného svazku. V této práci probereme návrh a optimalizaci PDI senzoru vlnoplochy.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0179019