Radiation damage to amorphous carbon thin films irradiated by multiple 46.9 nm laser shots below the single-shot damage threshold

0334101 - FZÚ 2010 RIV US eng J - Journal Article
Juha, Libor - Hájková, Věra - Chalupský, Jaromír - Vorlíček, Vladimír - Ritucci, A. - Reale, A. - Zuppella, P. - Störmer, M.
Radiation damage to amorphous carbon thin films irradiated by multiple 46.9 nm laser shots below the single-shot damage threshold.
[Radiační poškození tenkých vrstev amorfního uhlíku ozářených několika 46.9-nm laserovými pulzy pod prahem poškození jedním impulzem.]
Journal of Applied Physics. Roč. 105, č. 9 (2009), 093117/1-093117/3. ISSN 0021-8979. E-ISSN 1089-7550
R&D Projects: GA AV ČR KAN300100702; GA MŠMT LC510; GA MŠMT(CZ) LC528; GA MŠMT LA08024; GA AV ČR IAA400100701
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100523
Keywords : single-shot damage threshold * multiple-shot exposure damage * amorphous carbon * radiation erosion * capillary-discharge XUV laser
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Impact factor: 2.072, year: 2009

High-surface-quality amorphous carbon (a-C) optical coatings with a thickness of 45 nm, deposited by magnetron sputtering on a silicon substrate, were irradiated by the 46.9 nm focused beam of capillary-discharge Ne-like Ar extreme ultraviolet laser. It has been found that an accumulation of 10, 20, and 40 shots at a fluence of 0.5 J/cm(2), i.e., below the single-shot damage threshold, causes irreversible changes of thin a-C layers, which can be registered by both the AFM and the DIC microscopy. In the center of the damaged area, AFM shows a-C removal to a maximum depth of 0.3, 1.2, and 1.5 nm for 10-, 20-and 40-shot exposure, respectively.

Pomocí fokusovaného svazku kapilárního laseru jsme prokázali možnost poškození tenkých vrstev amorfního uhlíku ozářených několika 46.9-nm laserovými pulzy pod prahem poškození jedním impulzem. Již několik desítek pulzů na fluenci asi poloviční než je prahová hodnota poškození jedním impulzem způsobuje erozi materiálu do hloubky několika nanometrů.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0178924