Seeding of polymer substrates for nanocrystalline diamond film growth

0331886 - FZÚ 2010 RIV CH eng J - Journal Article
Kromka, Alexander - Babchenko, Oleg - Kozak, Halyna - Hruška, Karel - Rezek, Bohuslav - Ledinský, Martin - Potměšil, Jiří - Michalka, M. - Vaněček, Milan
Seeding of polymer substrates for nanocrystalline diamond film growth.
[Zárodkování polymreních substrátů pro růst nanokrystalických vrstev.]
Diamond and Related Materials. Roč. 18, 5-8 (2009), s. 734-739. ISSN 0925-9635. E-ISSN 1879-0062
R&D Projects: GA AV ČR KAN400100701; GA AV ČR KAN400100652
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100521
Keywords : nanocrystalline diamond films * chemical vapor deposition * polymer * sscanning electron spectroscopy
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 1.822, year: 2009

Nanocrystalline diamond (NCD) thin films and structures are grown by microwave plasma CVD technique on SiO2/Si substrates patterned by polymer. The substrates are seeded by ultra dispersed diamond (UDD) nanoparticles in polymer, by spin coating of UDD drop and by ultrasonic treatment in solution of UDD.

Vrstvy nanokrystalického diamantu a jejich struktury jsou deponovány v mikrovlnném plazmatu CVD technikou na Si/SiO2 substrátech strukturovaných polymerem. Substráty byli zárodkováni ultra-disperzným diamantovým práškem (UDD) v polymeru, nanášením UDD odstredivkou, nebo ultrazvukem v roztoku UDD.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0177282