Spectroscopic ellipsometry applied to phase transitions in solids: possibilities and limitations

0330031 - FZÚ 2010 RIV US eng J - Journal Article
Dejneka, Alexandr - Aulika, I. - Trepakov, Vladimír - Křepelka, Jaromír - Jastrabík, Lubomír - Hubička, Zdeněk - Lynnyková, Anna
Spectroscopic ellipsometry applied to phase transitions in solids: possibilities and limitations.
[Aplikace spektrální elipsometrie při studiu fázových přechodů v pevných látkách: možnosti a limity.]
Optics Express. Roč. 17, č. 16 (2009), 14322-14338. ISSN 1094-4087
R&D Projects: GA ČR GC202/09/J017; GA AV ČR KJB100100703; GA AV ČR KAN301370701; GA MŠMT(CZ) 1M06002
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : spectroscopic ellipsometry * phase transitions * oxide thin films and crystals * optics at surfaces
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Impact factor: 3.278, year: 2009

The possibilities of in situ spectroscopic ellipsometry applied to phase transitions investigation in oxide thin films and crystals are examined in this work, along with the use of various parameters calculated from ellipsometric data (band gap energy Eg, refractive index n and surface roughness) together with the directly measured main ellipsometric angles ψ and Δ, for the detection of phase transitions.

Byly studovány možnosti aplikace in situ spektrální elipsometrie při výzkumu fázových přechodů tenkých vrstev a krystalů vybraných oxidů s využitím parametrů (energie zakázaného pásu Eg, index lomu a povrchová drsnost) vypočtených na základě experimentálních elipsometrických dat. Současně měření hlavních elipsometrických uhlů ψ a Δ bylo využito k přímé detekci fázových přechodů.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0175905