Atmospheric barrier-torch discharge deposited ZnO films:optical properties,doping and grain size effects

0327418 - FZÚ 2010 RIV US eng J - Journal Article
Dejneka, Alexandr - Churpita, Olexandr - Hubička, Zdeněk - Trepakov, Vladimír - Potůček, Zdeněk - Jastrabík, Lubomír - Suchaneck, G. - Gerlach, G.
Atmospheric barrier-torch discharge deposited ZnO films:optical properties,doping and grain size effects.
[Tenké vrstvy ZnO deponované pomocí bariérového pochodňového výboje za atmosferického tlaku:optické vlastnosti, dopování a vliv velikosti zrn.]
Journal of Nanoscience and Nanotechnology. Roč. 92, č. 7 (2009), s. 4094-4097. ISSN 1533-4880
R&D Projects: GA AV ČR KJB100100703; GA AV ČR KAN301370701
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : atmospheric brrier-torch discharge * nanocrystalline ZnO films * doping,Grain Size Effects * grain size effects
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 1.435, year: 2009

We report on first results of the atmospheric RF barrier torch discharge technique applied for fabrication of nominally pure a doped ZnO thin films and their spectral ellipsometry and luminescence studies.The main attention was paid to the technology developments and optimization for ZnO films fabrication with reproducible properties, and their dependence on Al and Mn doping, films structure and grain size.

Byly publikovány první výsledky depozice tenkých vrstev nominálně čistého a dopovaného ZnO pomocí techniky RF bariérového pochodňového výboje při atmosferickém tlaku a výsledky měření spektrální elipsometrie a luminiscence.Hlavní pozornost byla soustředěna na vývoj a optimalizaci depoziční technologie z hlediska reprodukovatelnosti parametrů ZnO vrstev a závislosti jejich vlastností na dopování prvky Al a Mn , na struktuře a velikosti zrn.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0174244