Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy

0325114 - ÚPT 2009 RIV DE eng J - Journal Article
Lazar, Josef - Číp, Ondřej - Čížek, Martin - Šerý, Mojmír
Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy.
[Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou.]
tm-Technisches Messen. Roč. 76, č. 5 (2009), s. 253-258. ISSN 0171-8096
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LC06007; GA AV ČR IAA200650504; GA AV ČR KAN311610701; GA MPO 2A-1TP1/127; GA MPO FT-TA3/133; GA MPO 2A-3TP1/113; GA ČR GA102/07/1179; GA MŠMT 2C06012
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : Interferometry * local probe microscopy * nanometrology
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Impact factor: 0.321, year: 2009

In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed.

V příspěvku prezentujeme interferometrický monitorovací systém polohy pro odměřování a polohování vzorku pro mikroskopii s lokální sondou. Uspořádání je navrženo pro metrologické aplikace s přímou návazností na základní etalon délky a monitorování ve všech šesti osách volnosti. Je navrženo aktivní řízení polohy.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0172639