Number of the records: 1  

Deposition of nanocrystalline and microcrystalline Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. by means of pulse modulated low pressure plasma jet system

  1. 1.
    0323878 - FZÚ 2009 RIV GB eng J - Journal Article
    Olejníček, Jiří - Hubička, Zdeněk - Virostko, Petr - Deyneka, Alexander - Jastrabík, Lubomír - Chvostová, Dagmar - Šíchová, Hana - Pokorný, Jan
    Deposition of nanocrystalline and microcrystalline BaxSr1-xTiO3 by means of pulse modulated low pressure plasma jet system.
    [Depozice nanokrystalického a mikrokrystalického BaxSr1-xTiO3 pomocí pulzně modulovaného nízkotlakého systému s plazmovou tryskou.]
    Integrated Ferroelectrics. Roč. 81, č. 1 (2006), s. 227-237. ISSN 1058-4587. E-ISSN 1607-8489
    Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
    Keywords : ferroelectric thin films * hollow cathode sputtering * emission spectroscopy
    Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
    Impact factor: 0.410, year: 2006

    Modulated RF plasma jet system was used for deposition of BaxSr1-xTiO3 and SrTiO3 thin films.Optical emission spectroscopy of the plasma was used for control of concentration of particles sputtered from the hollow cathode.

    Modulovaný RF systém s plazmovou tryskou byl použit pro depozici tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 a SrTiO3.Optická emisní spektroskopie plazmatu byla použita pro kontrolu koncentrace částic naprašovaných z duté katody.
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0171714

     
     
Number of the records: 1