Modelling of RF discharge in argon plasma

0320055 - FZÚ 2012 RIV US eng C - Conference Paper (international conference)
Jelínek, Pavel - Virostko, Petr - Hubička, Zdeněk - Bartoš, P.
Modelling of RF discharge in argon plasma.
[Model RF výboje v argonovém plazmatu.]
Proceedings of the International Conference on Computational Methods in Science and Engineering 2007 (ICCMSE 2007): Volume 2, Part B. Melville: American Institut of Physics, 2007 - (Simos, T.; Maroulis, G.), s. 1240-1243. AIP Conference Proceedings, 963. ISBN 978-0-7354-0476-2.
[International Conference on Computational Methods in Science and Engineering 2007 (ICCMSE 2007). Corfu (GR), 25.09.2007-30.09.2007]
R&D Projects: GA AV ČR KAN400720701; GA ČR GA202/06/0776
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522; CEZ:AV0Z10100521
Keywords : particle modelling * fluid modelling * hybrid modelling * argon plasma * RF plasma
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

An one-dimensional hybrid model of RF discharge in low-temperature argon plasma is presented in our paper. The hybrid model consists of two parts—particle model which simulates fast electrons while fluid model simulates slow electrons and positive argon ions. Typical results of our calculations presented in this paper are total RF current and RF voltage waveforms on the planar substrate immersed into argon plasma. The next results which can be found here are the ion, electron and displacement current waveforms on the substrate.

V práci je prezentován jednodimenzionální hybridní model RF výboje v nízkoteplotním argonovém plazmatu. Hybridní model se skládá ze dvou částí - částicového modelu, který simuluje rychlé elektrony, a fluidního modelu, který simuluje pomalé elektrony a kladné argonové ionty. Výsledkem prezentovaných výpočtů jsou časové průběhy celkového RF proudu a RF napětí na rovinném substrátu vloženém do argonového plazmatu. Dalším výsledkem jsou průběhy iontového, elektronového a posuvného proudu na substrátu.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0005044