Optimisation of mechanical properties of plasma deposited graded multilayer diamond-like carbon coatings

0319263 - ÚPT 2009 RIV RO eng J - Journal Article
Buršíková, V. - Sobota, Jaroslav - Fořt, Tomáš - Grossman, Jan - Stoica, A. - Buršík, Jiří - Klapetek, P. - Peřina, Vratislav
Optimisation of mechanical properties of plasma deposited graded multilayer diamond-like carbon coatings.
[Optimalizace mechanických vlastností gradovaných multivrstvých DLC povlaků deponovaných v plasmě.]
Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. Roč. 10, č. 12 (2008), s. 3229-3232. ISSN 1454-4164. E-ISSN 1841-7132
R&D Projects: GA ČR(CZ) GA202/05/0607
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511; CEZ:AV0Z20410507; CEZ:AV0Z10480505
Keywords : nanostructured coatings * DLC * hardness * adhesion * intrisic stress * fracture toughness * dynamic impact test
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Impact factor: 0.577, year: 2008

Multilayer amorphous diamond–like carbon films with graded silicon and oxygen contents exhibiting hardness in the range from 16 to 24 GPa were deposited using low pressure PECVD. The films were optimized for deposition on steel substrates. To evaluate the impact resistance of graded amorphous carbon films in dynamic loading wear applications an impact has been used.

Multivrstvé amorfní DLC povlaky s gradovaným obsahem křemíku a kyslíku, deponované nízkotlakým PECVD, vykazují tvrdost v rozmezí 16 až 24 GPa. Vrstvy byly optimalizovány pro depozici na ocelové podložky. Odolnost povlaků pro aplikace, kde je systém dynamicky namáhán, byla vyhodnocována impaktním testem.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0004998