0309732 - FZÚ 2008 RIV DE eng J - Journal Article
Novotný, Michal - Bulíř, Jiří - Lančok, Ján - Jelínek, Miroslav
A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems.
[Srovnání plazmatu v laserových a hybridních laser-magnetronových systémech pro přípravu SiC.]
Plasma Processes and Polymers. Roč. 4, - (2007), S1017-S1021. ISSN 1612-8850. E-ISSN 1612-8869
R&D Projects: GA AV ČR KJB1010417; GA ČR GA202/06/0216
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : laser ablation * magnetron sputtering * optical emission spectroscopy
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 2.132, year: 2007

Time- and spatially resolved optical emission spectroscopy was performed to characterize the plasma produced in a pulsed laser deposition and a hybrid magnetron sputtering-pulsed laser deposition systems suitable for SiC thin films preparation.

Časově a prostorově rozlišená optická emisní spektroskopie byla využita pro studium plazmatu v depozičních systémech pro přípravu SiC vrstev. Jedná se o systémy s pulsní laserovou depozicí a hybridní s kombinací magnetronového naprašování a pulsní laserové depozice.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0161781