Charakterizace ultra-tenkých kovových vrstev

0189080 - UMCH-V 20033033 RIV SK cze C - Conference Paper (international conference)
Slepička, P. - Rybka, V. - Špírková, Milena - Zehentner, J. - Švorčíková, J. - Švorčík, V.
Charakterizace ultra-tenkých kovových vrstev.
[Characterization of ultra-thin metal layers.]
Zborník prednášok. Dubnica nad Váhom: ZTSMTEC, a.s., Dubnica nad Váhom, 2003, s. 141-145. ISBN 80-968337-1-5.
[Vrstvy a povlaky. Trenčín (SK), 22.05.2003-23.05.2003]
R&D Projects: GA AV ČR KSK4050111
Keywords : gold layer * electrical resistance * surface profile
Subject RIV: CD - Macromolecular Chemistry

Kovové vrstvy (Au, Ag a Cu) byly připravovány naprašováním na polyethylentereftalát. Tloušťka těchto vrstev byla měřena pomocí atomové absorpční spektroskopie a UV-VIS spektroskopií. Měřením plošné resistence a poměru stojatého vlnění byly stanoveny oblasti: (a) nespojitá, (b) spojitá, ale nehomogenní, (c) spojitá homogenní. Mikroskopií atomových sil byl studován povrchový profil a určena vertikální členitost vrstev.

Metal layers (Au, Ag and Cu) of increasing thickness were prepared of polyethyleneterephtalate. The mean layer thickness was determined from atomic absorption spectroscopy and from UV-VIS spectra, the continuity of a metal layer was examined by measuring of electrical resistance and the reflection of electromagnetic microwaves. Surface morphology was investigated by atomic force microscopy. These techniques enable characterization of a transition of the metal layer from a discontinuous to a continuous and homogenous one.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0084933