Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM

0109026 - UPT-D 20040027 RIV BE eng C - Conference Paper (international conference)
Vlček, Ivan - Lencová, Bohumila - Horáček, Miroslav
Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM.
[Detekce úhlového rozložení signálních elektronů v nízkoenergiovém REM.]
EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress. Vol. 1. Liege: Belgian Society for Microscopy, 2004, s. 337-338.
[EMC 2004 /13./ European Microscopy Congress. Antwerp (BE), 22.08.2004-27.08.2004]
R&D Projects: GA ČR GA202/03/1575
Keywords : low energy SEM * Wien filter * CCD detector
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

In an UHV apparatus designed in ISI Brno, a low-energy SEM (a scanning LEEM) is realized by adding a cathode-lens attachment to a SEM. Our aim is redesign the LESEM in the apparatus to allow the detection of the angular distribution of signal electrons. For this we have to separate the signal electrons from the primary beam with a Wien filter and project the image of the back-focal plane of the objective lens on an area-sensitive detector (a back-illuminated CCD). For this we have to design a new electrostatic optics working in UHV

V ultravakuové aparatuře navržené v ÚPT AVČR byl realizován nízkoenergiový rastrovací elektronový mikroskop přidáním katodové čočky do standardního REM. Naším cílem je upravit nízkoenergiový mikroskop pro detekci úhlového rozložení signálních elektronů. Ke splnění cíle musíme oddělit signální elektrony od primárních pomocí Wienova filtru a zobrazit zadní ohniskovou rovinu objektivové čočky na polohově citlivý detektor (ze zadní strany osvětlovaný CCD). Pro tento účel byl navržen nový elektrostatický optický systém pracující v ultravakuových podmínkách
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0016138