0100165 - FZU-D 20040145 RIV NL eng J - Journal Article
Čada, Martin - Churpita, Olexandr - Hubička, Zdeněk - Šíchová, Hana - Jastrabík, Lubomír
Investigation of the low temperature atmospheric deposition of TCO thin films on polymer substrates.
[Studium nízkoteplotního atmosférického zdroje plazmatu pro depozici TCO tenkých vrstev na polymerní substráty.]
Surface and Coatings Technology. 177-178, - (2004), s. 699-704. ISSN 0257-8972. E-ISSN 1879-3347
R&D Projects: GA AV ČR IBS1010203
Keywords : atmospheric deposition * TCO thin films * emission spectroscopy
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 1.432, year: 2004

Atmospheric barrier-torch discharge was used for low temperature deposition of thin conductive oxide thin films on polymer substrates. An atmospheric high-density plasma jet was excited at the outlet of the quartz nozzle with an external metallic ring electrode. In_xO_y and SnO_x transparent and conductive films were deposited on polymer, quartz and silicon substrates by this technique

Atmosférický bariérový-pochodňový výboj byl použit pro nízkoteplotní depozici tenkých a vodivých oxidových vrstev na polymerní substráty. Plazmatický kanál s vysokou koncentrací nabitých částic byl vybuzen na výstupu křemenné trysky obalené kovovou elektrodou. Průhledné a vodivé tenké vrstvy In_xO_y a SnO_x byly připraveny na polymerní, křemenné a křemíkové substráty pomocí této technologie
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0007670