Contrast at Very Low Energies of the Gold/Carbon Specimen for Resolution Testing

0100008 - UPT-D 20040008 RIV US eng J - Journal Article
Müllerová, Ilona - Frank, Luděk
Contrast at Very Low Energies of the Gold/Carbon Specimen for Resolution Testing.
[Kontrast při velmi nízkých energiích u vzorku zlato/uhlík pro testování rozlišení.]
Scanning. Roč. 25, 18/24 (2004), s. 18-24. ISSN 0161-0457. E-ISSN 1932-8745
R&D Projects: GA AV ČR IAA1065304
Keywords : scanning electron microscope * very low energy * cathode lens
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Impact factor: 0.892, year: 2004

This paper concerns the problem of testing the image resolution in scanned electron micrographs, namely from the point of view of the image contrast for the standard gold/carbon test specimen within the full energy scale, down to eV units. Microscopes equipped with a cathode lens are considered and experimental results are presented for three devices differing in vacuum conditions and fields surrounding the specimen. At very low energies, the contrast is shown to either invert or disappear and this ambiguity is discussed and confronted with data simulated on the basis of measured electron yields from gold and carbon. It is concluded that the observations can be explained in terms of the surface cleanliness and strength of in the surrounding fields

Tento článek se zabývá problémem testování obrazového rozlišení v rastrovacím elektronovém mikroskopu, zejména z pohledu obrazového kontrastu u standardního testovacího vzorku zlata na uhlíku, a to v celém rozsahu energií až do jednotek eV. Uvažovány jsou mikroskopy vybavené katodovou čočkou a experimentální výsledky jsou prezentovány pro tři zařízení, která se odlišují vakuovými podmínkami a poli obklopujícími preparát. Je ukázáno, že na velmi nízkých energiích je kontrast buď invertovaný anebo se ztrácí, a tato dvojznačnost je diskutována a srovnávána s daty modelovanými na základě měřených výtěžků elektronů ze zlata a uhlíku. Je učiněn závěr, že pozorování může být vysvětleno na základě úrovně povrchové čistoty a intenzity okolních polí
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0007515