Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge

0053681 - FZÚ 2007 RIV JP eng J - Journal Article
Olejníček, Jiří - Do, H.T. - Hubička, Zdeněk - Hippler, R. - Jastrabík, Lubomír
Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge.
[Laserová absorpční spektroskopie pulsního magnetronového výboje pomocí modré diody.]
Japanese Journal of Applied Physics. Roč. 45, 10B (2006), s. 8090-8094. ISSN 0021-4922. E-ISSN 1347-4065
R&D Projects: GA AV ČR 1QS100100563; GA ČR GA202/05/2242
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100521; CEZ:AV0Z10100520
Keywords : laser absorption spectroscopy * pulsed magnetron * sputtering parameters
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Impact factor: 1.222, year: 2006

Laser absorption spectroscopy of Al atoms in pulsed magnetron discharge with pure argon, argon/oxygen, and argon/methane gas mixtures is reported. Time-averaged densities and temperatures of sputtered Al atoms were extracted from the absorption signal. The measured Al density depended linearly on the pulse current and showed a small dependence on pressure.The critical oxygen gas flow was significantly higher in pulsed mode than in DC mode

Byla realizována laserová absorpční spektroskopie Al atomů pulsního magnetronového výboje v čistém argonu a v plynných směsích typu argon/kyslík a argon/metan .Časově průměrné hodnoty hustoty a teploty naprašovaných Al atomů byly získány z absorpčních měření. Měřená hodnota hustoty závisí lineárně na pulsním proudu a vykazuje malou závislost na tlaku.Kritický tok kyslíku je podstatně vyšší v pulsním módu ve srovnání s DC módem
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0141869