Cathode Lens Mode in the Scanning Electron Microscope

0049017 - ÚPT 2007 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Müllerová, Ilona
Cathode Lens Mode in the Scanning Electron Microscope.
[Režim katodové čočky v rastrovacím elektronovém mikroskopu.]
Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: ISI AS CR, 2006 - (Müllerová, I.), s. 49-52. ISBN 80-239-6285-X.
[Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./. Skalský dvůr (CZ), 22.05.2006-26.05.2006]
R&D Projects: GA ČR GA102/05/2327
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : cathode lens mode * SEM * very slow electrons
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Electron optical characteristics of the cathode lens mode, enabling one to decelerate the electron beam bombarding the specimen in a scanning electron microscope down to arbitrarily low energies, are summarized. Contrast mechanisms appearing at very low energies below 100 eV are described, together with detection strategies capable of acquiring these contrasts. Illustration examples are provided.

Je shrnuty elektronově optické charakteristiky režimu katodové čočky, umožňujícího zbrzdit elektronový svazek bombardující preparát v rastrovacím elektronovém mikroskopu na libovolně nízkou energii. Jsou popsány kontrastní mechanismy projevující se při velmi nízkých energiích pod 100 eV společně s detekčními strategiemi schopnými tyto kontrasty zachytit. Jsou předloženy ilustrující příklady.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0139514