0025674 - FZÚ 2006 RIV CH eng J - Journal Article
Popov, C. - Jelínek, Miroslav - Boycheva, S. - Vorlíček, Vladimír - Kulisch, W.
Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD.
[Vliv složení plynné fáze na nanokrystalické diamantové vrystvy připravené MWCVD.]
Journal of Metastable and Nanocrystalline Materials. Roč. 23, - (2005), s. 31-34. ISSN 1422-6375
R&D Projects: GA AV ČR(CZ) IAA1010110
Grant - others:European Community Marie Curie Fellowship(XE) HPMF-CT-2002-01713
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1010914
Keywords : microwave plasma CVD * nanocrystalline diamond films * characterization
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

Nanocrystalline diamond (NCD) films have been prepared by microwave plasma chemical vapor deposition (MWCVD) from methane/nitrogen mixtures, and the influence of the gas phase composition on the basic properties of the films (composition, morphology, topography, crystallinity and bonding structure) was investigated

Vrstvy nanikrystalického diamantu byly připraveny depozicí s plynné fáze za pomoci mikrovlnné plazmy ze směsi metanu a dusíku. Byl studován vliv složení plynné fáze na základní vlastnosti vrstev složení, morfologii, topografii, krystaličnost a strukturu vazeb)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0116045