0025249 - FZÚ 2006 RIV CH eng J - Journal Article
Lančok, Ján - Santoni, A. - Penza, M. - Loreti, S. - Menicucci, I. - Minarini, C. - Jelínek, Miroslav
Tin oxide thin films prepared by laser-assisted metal-organic CVD: Structural and gas sensing properties.
[Tenké vrstvy oxidů cínu připravené pomocí laser-asistované metal organické CVD: strukturní a senzorické vlastnosti pro plyny.]
Surface and Coatings Technology. Roč. 200, - (2005), s. 1057-1060. ISSN 0257-8972. E-ISSN 1879-3347
R&D Projects: GA ČR(CZ) GP106/01/D017; GA MŠMT(CZ) LN00A015
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : tin dioxide * laser-assisted MOCVD * XPS * gas sensor
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Impact factor: 1.646, year: 2005

Amorphous and polycrystalline tin oxide (SnO_x) thin films were grown by ArF excimer laser-induced metal-organic chemical vapour deposition (L-MOCVD) from tetramethyltin (TMT) and oxygen as precursors. The films structure and composition were investigated by x-ray diffraction (XRD) and x-ray photoelectron spectroscopy (XPS)

Amorfní a polykrystalické vrstvy oxidů cínu byly připraveny ArF laserem indukovanou MOCVD z tetramethylcínu a kyslíku jako prekurzorů. Vrystvy oxidů cínu byly dále použity jako citlivé vrystvy pro detekci plynů. Uspokojivé sensorové vlastnosti byly dosaženy pro oxidaci NO₂ a redukci N₂O, CH₄, SO₂, CO, CO₂, H₂
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0115658