Konstrukce nízkoenergiového REM

0022848 - ÚPT 2006 CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Vlček, Ivan
Konstrukce nízkoenergiového REM.
[Design of low energy SEM.]
Mikroskopie 2005. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2005, s. 23.
[Mikroskopie 2005. Nové Město na Moravě (CZ), 24.2.2005-25.2.2005]
R&D Projects: GA ČR(CZ) GA202/03/1575
Keywords : low energy SEM * Wien filter * CCD detector
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Příspěvek stručně představuje hlavní znaky navrhovaného rastrovacího mikroskopu s nízkou energií elektronů.

Paper briefly describes main features of proposed low-energy electron scanning microscope.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0111558