Number of the records: 1  

Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu

  1. 1.
    0424549 - FZU-D 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
    Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
    [An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
    Internal code: IONEU2013 ; 2013
    Technical parameters: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
    Economic parameters: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
    R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
    Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

    V rámci řešení projektu TA01010517 jsme vyvinuli nové měřící zařízení umožňující stanovit depoziční rychlost neutrálních nebo ionizovaných částic dopadajících na substrát. Homogenní magnetické pole na vstupu QCM sensoru umožňuje efektivně potlačit průnik elektronů do oblasti sensoru.

    Within the project TA01010517, we have developed a new measuring device enabling to determine deposition rate both neutral or ionized particles reaching substrate. Homogeneous magnetic field at the entrance orifice of the QCM sensor enables effectively suppress electron flux on the quartz sensor.
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230613