0605296 - ÚPT 2025 RIV CZ cze J - Journal Article
Řeřucha, Šimon - Holá, Miroslava - Oulehla, Jindřich - Lazar, Josef - Mikel, Břetislav - Číp, Ondřej
Charakterizace a eliminace termomechanických vlivů v interferometrickém měření délky.
[Characterizing and mitigating the thermo-mechanical influences in displacement measurement interferometry.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 69, č. 2 (2024), s. 36-38. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) FW03010687; GA TA ČR(CZ) TN02000020; GA MŠMT ED0017/01/01; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT(CZ) EF16_026/0008460
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : laser interferometry * dimensional metrology * thermal influences
OECD category: Electrical and electronic engineering
Method of publishing: Limited access
Result website:
https://jmo.fzu.cz/sites/jmo.fzu.cz/files/oldweb/2024/2024-02/jmo_24_02_obsah.pdf

Laserové interferometry hrají roli tažných koní oboru metrologie délky již řad dekád. Jejich širší uplatnění, zejména pro kontinuální měření v delším časovém úseku, anebo mimo laboratorní prostředí s přísně kontrolovanými podmínkami, přináší další výzvy. Představujeme aktivity našeho týmu v oblasti charakterizace a eliminace vlivů nestabilní teploty na interferometrická měření délky. Demonstrujeme úpravu optického uspořádání interferometru, která vedla ke snížení citlivosti interferometru na teplotní změny a zlepšení stability měření o dva řády. Klíčovým nástrojem pro tento výzkum je termostatizovaná komora, dosahující relativní teplotní stability v nižších desítkách milikelvinů a umožňující nastavení teploty v rozsahu jednotek kelvinů. S pomocí této komory lze charakterizovat teplotní citlivost a verifikovat funkčnost jednotlivých komponent i složitějších částí laserového interferometru. Získaná data a poznatky též poskytujíc cennou zpětnou vazbu pro další vývoj a modifikace interferometrických systémů.

Laser interferometers have served as the workhorses in the metrology of length for several decades. Their wider application, especially for longer measurement time-frames or outside the laboratory environment with strictly controlled conditions, brings further challenges. We present our team´s activities in characterizing and ideally eliminating the effects of unstable temperature on interferometric length measurements. We demonstrate a successful remodelling of a differential interferometer with reduced sensitivity to temperature changes by a factor of 100. A vital tool for our research is a thermostatised chamber, which achieves relative temperature stability in the lower tens of millikelvins and allows temperature tuning in the range of several kelvins. The chamber allows us to characterize the temperature sensitivity and verify the functionality of individual components and more complex parts of the laser interferometers. The data and insights obtained also provide valuable feedback for further development and modification of interferometer systems.
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0362944