Kvalita povrchu taveného křemene obrobeného ultrarychlým laserem

0584399 - ÚPT 2024 RIV CZ cze C - Conference Paper (international conference)
Novotný, Jan - Mrňa, Libor
Kvalita povrchu taveného křemene obrobeného ultrarychlým laserem.
[The surface quality of the fused silica machined by ultrafast laser.]
LA63. Sborník příspěvků multioborové konference LASER63. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2023 - (Mikel, B.), s. 73-75. ISBN 978-80-87441-32-9.
[LASER63. Třešť (CZ), 18.10.2023-20.10.2023]
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : ultrafast laser * laser ablation * glass * defects
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)

Kvalita povrchu při obrábění ultrakrátkými pulzy závisí na několika procesních parametrech. Testováním vlivu skenovací rychlosti, překryvu linií, energie pulzů a vlnové délky byly nalezeny parametry s nejnižší drsností povrchu a výskytem vad. Zásadní vliv na výslednou kvalitu má, kromě vhodné energie pulzu, překryv linií skenování, který je určující pro rozložení zbytkového tepla a napětí ve vzorku. Při obrábění na druhé harmonické vlnové délce bylo dosaženo o 10 % lepší drsnosti povrchu, nižší vlnitosti a značného omezení defektů povrchu i hran obráběné oblasti.

The quality of ultrafast laser-machined surfaces depends on several process parameters. In the experiment, the parameters window that yields the lowest roughness and lowest number of defects were found. The most important parameter after laser fluence is scan line overlap, which has the biggest impact on residual heat dissipation and related stresses in the specimen. The second harmonic wavelength yielded 10 % better surface roughness, lower waviness, and a lower number of defects on the surface and edges of the processed area.
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0352348