Držáky pro manipulaci s optickými prvky

0580360 - ÚPT 2024 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Materna Mikmeková, Eliška - Sýkora, Jiří - Piňos, Jakub - Konvalina, Ivo
Držáky pro manipulaci s optickými prvky.
[Holders for the optical elements manipulation.]
Internal code: APL-2023-09 ; 2023
Technical parameters: Držák vzorku se skládá z podložky, na kterou se vzorek umísťuje, dále měděné čepičky na přichycení vzorku a keramického pouzdra.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu slouží k výzkumným účelům příjemce, Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Funkční vzorek byl realizován pro konkrétní zařízení, a proto nedochází k přímému prodeji vzorku. Finanční vyčíslení případné prodejní ceny vychází z nákladů na vývoj, materiál, výrobu a přiměřený zisk. Kontakt: Mgr. Eliška Materna Mikmeková, PhD., MBA, eliska@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN02000020
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : sample holder * manipulation * SEM
OECD category: Electrical and electronic engineering

Držák vzorku se skládá z podložky, na kterou se vzorek umísťuje, dále měděné čepičky na přichycení vzorku a keramického pouzdra. Systém slouží na pozorování částí optických elementů po úpravě, nanesení hutné a vodivé vrstvy, což vede k vylepšení parametru svazku v elektronovém mikroskopu. Cílem je vzorek umístit na držák, který lze vložit do ultra vysoko vakuového mikroskopu, kde se optické elementy testují (pozorování struktury, prvková analýza, teplotní stabilita, desorpce uhlovodíků).

The sample holder consists of a substrate on which the sample is placed, a copper cap for attaching the sample and a ceramic capsule. The system is used to observe parts of the optical elements after treatment, depositing a dense and conductive layer, which leads to an improvement of the beam parameter in the electron microscope. The aim is to place the sample on a holder that can be inserted into an ultra-high vacuum (UHV) microscope where the optical elements are tested (structure observation, elemental analysis, thermal stability, hydrocarbon desorption).
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0349150