Number of the records: 1  

SMV-2023-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM

  1. 1.
    0579072 - ÚPT 2024 RIV CZ cze V - Research Report
    Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Meluzín, Petr - Košelová, Zuzana - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Knápek, Alexandr
    SMV-2023-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
    [SMV-2023-06: Development of test specimens for SEM.]
    Brno: TESCAN Brno a.s., 2023. 4 s.
    Source of funding: N - Non-public resources
    Keywords : relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
    OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)

    Studie se zaměřuje na výzkum a vývoj přesných kalibračních vzorků s reliéfními strukturami. Tyto vzorky jsou navrženy ke kalibraci zobrazování ve skenovacích elektronových mikroskopech (SEM). Testovací vzory umožňují ověření a kalibraci zvětšení, ortogonality a geometrického zkreslení. Příprava kalibračních vzorků využívá mikro litografické techniky přizpůsobené pro zpracování křemíku a dalších související technologické postupy.

    The study focuses on the research and development of precise calibration samples featuring relief structures. These samples are designed for calibrating parameters in scanning electron microscopes (SEM). The testing patterns enable the verification and calibration of magnification, orthogonality, and geometric distortion. The preparation of calibration specimens utilizes micro lithographic techniques tailored for silicon processing and other relevant technological procedures.
    Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0347946

     
     
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.