Number of the records: 1  

SMV-2023-05: DI2023

  1. 1.
    0579070 - ÚPT 2024 RIV CZ cze V - Research Report
    Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Meluzín, Petr - Košelová, Zuzana - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Knápek, Alexandr
    SMV-2023-05: DI2023.
    [SMV-2023-05: DI2023.]
    Brno: DELONG INSTRUMENTS a.s., 2023. 4 s.
    Source of funding: N - Non-public resources
    Keywords : relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
    OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)

    Výzkum se soustředí na zkoumání a vývoj precizních kalibračních vzorků s reliéfními strukturami. Tyto vzorky jsou koncipovány pro kalibraci parametrů ve skenovacích elektronových mikroskopech (SEM). Testovací vzory umožňují ověření kvality zobrazovaní danou mikroskopickou technikou jako je celkové zvětšení, velikost zorného, rozlišení, deformace zobrazení v laterárních osách a další geometrická zkreslení. Pro přípravku jsou využívány precizní litografické techniky a další techniky vycházející z technologií zpracování křemíku z polovodičového průmyslu. Vývoj byl zaměřen na optimalizaci záznamu leptacích masek před přenosem obrazu do monokrystalické křemíkové podložky.

    The research focuses on the investigation and development of precise calibration samples with relief structures. These samples are designed for calibrating parameters in scanning electron microscopes (SEM). Test patterns allow verification of the imaging quality through microscopic techniques such as overall magnification, field of view size, resolution, deformation in lateral axes, and other geometric distortions. Precision lithographic techniques and other methods derived from silicon processing technologies in the semiconductor industry are employed for sample preparation. The development has been directed towards optimizing the recording of etching masks before transferring the image onto a monocrystalline silicon substrate.
    Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0347943

     
     
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.