Kryo-stolek a antikontaminátor pro FIB-SEM

0566637 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Láznička, Tomáš - Krutil, Vojtěch - Krzyžánek, Vladislav - Hrubanová, Kamila
Kryo-stolek a antikontaminátor pro FIB-SEM.
[Cryo-stage and anti-contaminator for FIB-SEM.]
Internal code: APL-2022-24 ; 2022
Technical parameters: Kryo-stolek umožňující uchycení komerčního držáku vzorku je k posuvnému mechanismu mikroskopu připevněn pomocí centrovacích kolíků a jednoho šroubu uprostřed stolku. Otvor pro hlavičku šroubu je průchozí skrz držák, takže není nutné rozebírat celý stolek. Část stolku, do které se upevňuje držák vzorku je připevněna ke spodní podložce pomocí čtyř sloupků Antikontaminační štít vzorku je připevněn ke spodní podložce dvěma podobnými, delšími sloupky. Antikontaminační štít může být pomocí chladovodu připojen zjednodušenou cestou buď k velkému antikontaminačnímu štítu ze zadní strany nebo přímo na palec (k držáku nebo chladovodu vedoucí od palce) chladící Dewarovy nádoby. Součástí systému je měřič teploty připojený k pravé části, z levé části je připojen ohřívač, kterým můžeme regulovat teplotu vzorku. Systém je schopen dosáhnout teoretické teploty 81 K. Posuvný mechanismus i se stolkem mikroskopu je schopný náklonu do 52°, který slouží pro náklon vzorku ve směru k iontovému svazku pro kolmé obrábění svazkem k povrchu vzorku.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Kamila Hrubanová, Ph.D., hrubanova@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : Cryo-SEM * electron microscopy * FIB-SEM
OECD category: Electrical and electronic engineering

Funkčním vzorkem je stolek mikroskopu pro umístění držáku hluboce zamražených vzorků a jejich analýzu při pozorování v rastrovacím elektronovém mikroskopu za kryogenních teplot (cryo-SEM). Rastrovací elektronový mikroskop vybavený fokusovaným iontovým svazkem (FIB-SEM) může být díky stolku použit i pro mikro obrábění různých typů vzorků v kryogenních podmínkách. Současný stolek je vybaven mechanismem pro uchycení držáku vzorků založeného na komerčním systému typu Bal-Tec nebo Leica microsystems a také anti kontaminačním štítem pro zachytávání nečistot, které by jinak dopadly na vzorek a způsobily kontaminaci jeho povrchu.

The functional sample is a microscope stage allowing placing the holder containing deep-frozen samples and analysing them during observation in a scanning electron microscope at cryogenic temperatures (cryo-SEM). Moreover, thanks to the stage a scanning electron microscope equipped with a focussed ion beam (FIB-SEM) can also be used for micromachining various types of samples at cryogenic conditions. The current stage is equipped with a mechanism for attaching a sample holder based on a commercial system like Bal-Tec or Leica microsystems, as well as an anti-contamination shield for picking up impurities that could cause contamination of the sample surface.
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337951