Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM

0566540 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Krátký, Stanislav - Pokorná, Zuzana
Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM.
[Calibration standard sample for secondary electron spectroscopy in SEM.]
Internal code: APL-2022-11 ; 2022
Technical parameters: Kalibrační vzorek obsahující mikrometrové struktury s různých materiálů vykazující odlišnou emisivitu sekundárních elektronů. Tloušťka jednotlivých materiálů je 150um a šířka proužků ze stříbra a chromu je 2 respektive 1 um.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : test sample * scanning electron microscope * secondary electron spectrometer
OECD category: Materials engineering

Vzorek s litografickou strukturou bude sloužit ke kalibraci metody spektroskopie sekundárních elektronů s nanometrovým rozlišením v SEM. Bude obsahovat přesně definované oblasti jak plošně, tak do hloubky. Materiál oblastí bude volen tak, aby bylo možné nastavit parametry analýzy a snadno úhlově a energiově rozlišit získaný signál sekundárních elektronů.

The sample with a dedicated structure fabricated by electron beam lithography will be used in SEM for the calibration of nanometre-resolution secondary electron spectroscopy. It will contain areas of a precisely defined depth, width and materials composition allowing the observer to fine-tune the parameters of the analysis and easily resolve the secondary electron signal both in energy and angle.
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337867