Autoemisní mikroskop pro analýzu hrotu sondy

0566529 - ÚPT 2023 RIV cze P1 - User Module
Knápek, Alexandr - Dupák, Libor - Matějka, Milan
Autoemisní mikroskop pro analýzu hrotu sondy.
[Field emission microscope for probe tip analysis.]
2022. Owner: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 26.05.2022. Utility model number: 36068
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) FW03010504
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : field emission microscope * SPM probe analysis
OECD category: Electrical and electronic engineering
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0036/uv036068.pdf

Technické řešení se týká autoemisního mikroskopu, který je určen pro analýzu hrotů sond pro rastrovací sondové mikroskopy. V současnosti neexistuje zařízení, které by umožnilo charakterizovat kvalitu sond pro rastrovací sondové mikroskopy, či je přímo srovnávat jinak nežli jejich přímým použitím v mikroskopu samotném. Stávající SPM mikroskopy sondy nijak nesrovnávají ani jakkoliv necharakterizují a uživatelé mikroskopů jsou přímo závislí na kvalitě sond, jejíž garance je na straně výrobce. Nejistota v opakovatelnosti výroby sond, tedy přímo vede k výkyvům kvality funkce rastrovacího hrotového mikroskopu, která je daná především sondou samotnou. Výše uvedené nevýhody dosavadního stavu techniky řeší předložené technické řešení, které umožňuje analýzu hrotových sond, která je založená na spojení měření autoemisního proudu z SPM sond a z testování naměřených charakteristik.

The technical solution relates to an field-emission microscope designed for the analysis of probe tips for scanning probe microscopes. At present, there is no device to characterise the quality of probes for scanning probe microscopes or to compare them directly other than by direct use in the microscope itself. Existing SPM microscopes do not compare or characterise the probes in any way and microscope users are directly dependent on the quality of the probes, which is guaranteed by the manufacturer. The uncertainty in the repeatability of the production of the probes therefore leads directly to variations in the quality of the function of the scanning probe microscope, which is determined primarily by the probe itself. The above drawbacks of the state of the art are addressed by the presented technical solution, which allows the analysis of the tip probes based on the combination of the measurement of the autoemission current from the SPM probes and from the testing of the measured characteristics.
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337859