SMV-2022-57: Vývoj testovacích preparátů pro REM

0566446 - ÚPT 2023 RIV CZ cze V - Research Report
Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Chlumská, Jana - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Krátký, Stanislav
SMV-2022-57: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
[SMV-2022-57: Development of test specimens for SEM.]
Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2022. 5 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)

Výzkum, vývoj a realizace rozměrově přesných vzorků s reliéfními strukturami. Vzorky jsou určeny pro kalibraci parametrů rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Motivy struktur umožňují kontrolu a kalibraci zvětšení, pravoúhlosti a geometrického zkreslení. Pro přípravu preparátů jsou vyvíjeny mikro litografické techniky opracování křemíku a další související technologické postupy.

Research and development of accurate calibration samples with relief structures. The samples are intended for parameter calibration of scanning electron microscope (REM). Testing patterns allow to check and calibrate magnification, orthogonality and geometric distortion. Micro lithographic techniques for silicon processing and other related technological processes have been developed for the calibration specimen preparation.
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337763