Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií

0566395 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš
Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií.
[Graphene Foil Lens Corrector.]
Internal code: APL-2022-16 ; 2022
Technical parameters: Korektor sférické aberace a jeho integrace do mikroskopu Apreo. Jeho základní částí je elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál a dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií, která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole. Integrace do mikroskopu Apreo zahrnuje nový kondenzorový sytém a nový mechanizmus pro měření aberací založený na 2D pixelovém detektoru TimePix.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * corrector of sperical aberration * resolution * graphene foil * TimePix detector
OECD category: Electrical and electronic engineering

Jedná se o novou generaci korektoru sférické aberace, který je optimalizovaný skenovací elektronový mikroskop Apreo včetně jeho integrace do tubusu primárního svazku. Princip korekce využívá diskontinuity elektrostatického pole na grafénové folii, čímž obchází podmínky Scherzerova theoremu. Při správném nastavení zbytku systému je pak možné zcela korigovat sférickou aberaci třetího řádu, aniž by došlo ke zhoršení jiných parametrů mikroskopu. Integrace korektoru do mikroskopu Apreo je a) nový kondensorový systém, který zaručuje nastavení optimálního aperturního úhlu a zvětšení, které v případě zobrazování s grafénovým korektorem výrazně odlišuje od standardního režimu, b) Mechanizmus pro měření aberací založený na 2D pixelovém detektoru.

The functional sample describes a new generation of Graphene foil lens corrector optimized for scanning electron microscope Apero including the integration into the primary beam-column. The principle of correction utilizes electrostatic field discontinuity to overcome Scherzer’s theorem. In the case of the correct regime of the condenser system and objective lens, it corrects the spherical aberration of the whole microscope without perturbing other electron-optical properties. Corrector integration covers: a) a new condenser system that enables setting correct aperture angle and magnification which differs from the standard regime without a corrector, b) a new system for aberration measurement based on the 2D pixelized detector.
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337735