Nové metody přípravy vzorků pro moderní rastrovací elektronovou mikroskopii

0551148 - ÚPT 2022 RIV CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Ambrož, Ondřej - Čermák, Jan - Mikmeková, Šárka
Nové metody přípravy vzorků pro moderní rastrovací elektronovou mikroskopii.
[New methods of sample preparation for modern scanning electron microscopy.]
15. konference Přínos metalografie pro řešení výrobních problémů. Sborník přednášek. Praha: České vysoké učení technické v Praze, 2021, s. 114-120. ISBN 978-80-01-06883-0.
[Přínos metalografie pro řešení výrobních problémů /15./. Mariánské Lázně (CZ), 21.09.2021-23.09.2021]
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : TRIP steel * SEM * automation
OECD category: Materials engineering
http://www.metalografie.vzuplzen.cz/doc/sbornik-Metalografie2021.pdf

Moderní rastrovací elektronové mikroskopy (SEM) jsou vybaveny velmi sofistikovaným detekčním systémem, který umožňuje detekovat signální elektrony současně pomocí několika různě umístěných detektorů. Tímto způsobem dochází k filtraci signálních elektronů podle energie a úhlu. Efektivní filtrace signálu v rastrovací elektronové mikroskopii současně s možností použití velmi nízkých dopadových energií primárního svazku vede k extrémní citlivosti této metody na kvalitu povrchu vzorku a jeho stav. Současné metalografické metody přípravy vzorků začínají být nedostatečné pro pokročilé zobrazování v moderních SEM instrumentech. Klasická příprava vzorků se ukazuje jako nevhodná zejména pro nízkonapěťovou rastrovací elektronovou mikroskopii. V práci budou prezentovány první výsledky experimentů vlivu běžných metod přípravy na stav povrchu a možnost odlišení jednotlivých fází TRIP oceli pomocí pokročilých technik elektronové mikroskopie a budou také nastíněny možnosti nových postupů využívajících například robotizace.

Modern scanning electron microscopes (SEM) are equipped with a very sophisticated detection system that allows the detection of signal electrons by several differently located detectors simultaneously. Signal electrons are filtered according to energy and angle. Effective signal filtering in SEM together with the possibility of using very low impact energies of the primary beam leads to the extreme sensitivity of this method to the quality of the sample surface. Current metallographic methods of sample preparation are becoming insufficient for advanced imaging in modern SEM instruments. Classical sample preparation proves to be completely unsuitable especially for low-voltage scanning electron microscopy. The work will present the first results of the influence of preparation methods on the surface condition and the possibility of differentiating the individual phases of TRIP steel using advanced electron microscopy techniques. The possibilities of new procedures using robotics will be shown.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326590