2D detekční systém pro odražené elektrony v UHV SLEEM

0550700 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Konvalina, Ivo - Sýkora, Jiří - Piňos, Jakub - Materna Mikmeková, Eliška
2D detekční systém pro odražené elektrony v UHV SLEEM.
[2D detection system for reflected electrons in UHV SLEEM.]
Internal code: APL-2021-09 ; 2021
Technical parameters: Funkční vzorek 2D detekčního systému tvoří příruba s nosičem, na němž je uložena deska plošného spoje osazená senzorem a elektronickými součástkami. Součástí detektoru je řídící elektronika a obslužný software.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ivo Konvalina, Ph.D., kimiki@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : pixelated detector * scanning * low energy electron microscopy * reflected electrons
OECD category: Electrical and electronic engineering

Funkční vzorek byl navržen a vyroben pro ultravysokovakuový rastrovací nízkoenergiový elektronový mikroskop, který pracuje v energiovém rozsahu od 5 keV až do jednotek eV. Zejména při nízkých energiích dopadu jsou signální elektrony kolimovány k optické ose a vstupují do objektivové čočky. Mikroskop je vybaven mimoosovým detekčním systémem, který pomocí projekčního tubusu umožňuje zformovat svazek odražených signálních elektronů a jeho zvětšenou stopu promítnout do detekční roviny pixelového detektoru. Pixelový detektor umožňuje studium úhlového rozložení signálních elektronů.

Functional sample was designed and assembled for an ultrahigh vacuum scanning low energy electron microscope that operates in the energy range from 5 keV to eV units. Especially at low landing energies, the signal electrons are collimated to the optical axis and enter the objective lens. The microscope is equipped with an off-axis detection system, which uses a projection column to form a beam of reflected signal electrons and project its enlarged spot into the detection plane of the pixelated detector. The pixelated detector enables the study of the angular distribution of signal electrons.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326005