Vliv korekčních faktorů na vyhodnocení nanoindentační zkoušky

0549227 - FZÚ 2022 RIV CZ cze J - Journal Article
Kudělka, R. - Čtvrtlík, R. - Tomáštík, Jan - Malecová, S. - Václavek, L.
Vliv korekčních faktorů na vyhodnocení nanoindentační zkoušky.
[Effect of correction factors on evaluation of the nanoindentation.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 66, č. 2 (2021), s. 41-45. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA TA ČR TN01000038
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : nanoindentation * thin films * indentation hardness * elastic modulus * calibration
OECD category: Materials engineering
Method of publishing: Limited access

Znalost mechanických vlastností tenkých vrstev a povlaků je nezbytná pro většinu jejich aplikací, proto je charakterizace těchto vlastností důležitým aspektem výzkumu a vývoje tenkých vrstev. Jednou ze standardních metod využívaných v posledních letech představuje nanoindentační zkouška. Ačkoli se jedná principiálně o velmi jednoduchou zkoušku, její analýza vyžaduje pro obdržení správných výsledků provedení několika nezbytných korekcí. Typicky se jedná o korekce související s geometrii indentoru, reakčními silami nebo změnami teploty, které vystupují v analýze experimentálních dat prostřednictvím určitých korekčních faktorů nebo procedur. Za předpokladu správně naměřených zdrojových dat je zásadní například faktor epsilon, který byl dříve považován za konstantu svázanou s geometrickým tvarem indentoru.

The knowledge of the mechanical properties of thin films and coatings is essential for most of their applications, which makes the characterization of such properties an important aspect of thinfilm research and development. Nanoindentation has been proved to be a standard method. While its principles are very simple and straightforward, proper analysis and processing of measured data require the application of some vital corrections. Those can be typically connected to the geometrical shape of the indentor, frame compliance, or thermal drift and take the form of correction factors that alter the analysis of the data. One such correction factor is epsilon, which was regarded as a constant linked to the geometrical shape of the indentor. However, contemporary findings suggest that it is actually dependent on material and its value is variable.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0325246