Rotary holder of a sample

0540865 - FZÚ 2021 RIV CZ eng L - Prototype, f. module
Písařík, Petr
Rotary holder of a sample.
Internal code: Otočný držák vzorků ; 2020
Technical parameters: Speciální držák vzorků pro depozici pomocí pulsní laserové depozice, magnetronového naprašování a RF. Držák umožňuje depozici 24 vzorků najednou a je elektricky izolován (z důvodu použití RF na některé části byl použit speciální kosmický materiál LAVA). R
Economic parameters: Celkový vývoj vyšel na cca 20 000,- Kč materiálních nákladů. Cena nově vyráběného přípravku pro depozici více vzorků na jednou by byla cca 15 000 Kč,- (jediná komplikace je sehnání materiálu LAVA).
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : PLD * magnetron sputtering * RF * LAVA deposition
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)

Special rotary holder for pulsed laser deposition, magnetron sputtering and RF deposition. The holder allows the deposition of 24 samples at one time and electrically insulated (due to use on some parts of special LAVA space material). Rotation of samples is ensured by magnetic transmission.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0318463