Senzor pro detekci ozonu - KBIO3

0540718 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Bodnár, M. - Moravec, V. - Vrňata, M. - Fitl, P. - Lančok, Ján - Novotný, Michal
Senzor pro detekci ozonu - KBIO3.
[Gas sensor for Ozone detection - KBIO3.]
Internal code: Funkční vzorek - Senzor pro detekci ozonu - KBIO3 ; 2020
Technical parameters: senzor koncentrace ozonu ve vzduchu: - koncentrační rozsah: 1 ppb až 1000 ppb - oblast pracovních teplot: -20°C až 60°C - pracovní teplota: 100°C
Economic parameters: Senzor bude zařazen do portofila produktů firmy Tesla Blatná a.s.
R&D Projects: GA MPO FV20350
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : ozone * gas sensor * pollution
OECD category: Electrical and electronic engineering

Funkční vzorek vznikl ve spolupráci Fyzikálního ústavu, AVČR, v.v.i., Vysoké školy chemicko-technologické v Praze a Tesla Blatná a.s. na projektu FV20350, Chemirezistory na bázi nanokompozitních vrstev pro detekci plynů.
Jedná se o senzor umožňující měřit koncentraci ozonu ve vzduchu v oblasti pracovních teplot -20°C až 60°C a koncentračním rozsahu 1 ppb až 1000 ppb. Senzor je nutné temperovat na pracovní teplotu 100°C pomocí integrovaného Pt topného meandru. Senzor je tvořen pouzdrem TO-5 do kterého je umístěn senzorový substrát KBS4 obsahující systém interdigitálních elektrod a topný meandr. Na interdigitálních elektrodách je nanesena technikou plazmové polymerace aktivní vrstva na bázi In2O3 a InAcAc o tloušťce 200 nm. Výstupní veličinou senzoru je elektrický odpor aktivní vrstvy, který závisí na okolní koncentraci ozónu.
Umístěn na Ústavu fyziky a měřící techniky, VŠCHT Praha, Technická 5, 166 28 Praha 6.

The functional sample was developed by FZÚ AVČR, UCT Prague and Tesla Blatná within the project FV20350, Chemiresistors Based on Nanocomposite Layers for Gas Detection. Gas sensor enabling to measure the concentration of ozone in the air in the range of operating temperatures -20°C to 60°C and the concentration range from 1 ppb to 1000 ppb. The sensor must be tempered to an operating temperature of 100 °C using an integrated Pt heating meander. The sensor consists of a TO-5 holder in which a KBS4 sensor substrate containing a system of interdigital electrodes and a heating meander is placed. An active layer (200 nm thick) based on In2O3 and InAcAc prepared by plasma polymerization is applied to the interdigital electrodes. The output quantity of the sensor is electrical resistance of the active layer varying depending on the ambient concentration of ozone. Placed in the Dep. of Physics and Measurements, UCT Prague, Technická 5, 166 28 Praha 6.

Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0318334