Odrazivá metalická rezonanční difrakční mřížka s vytékajícím videm, způsob její výroby a její použití

0537410 - ÚFE 2021 RIV cze P - Patent Document
Honzátko, Pavel
Odrazivá metalická rezonanční difrakční mřížka s vytékajícím videm, způsob její výroby a její použití.
[Reflective metallic resonance diffraction grating with flow mode, production and use.]
2020. Owner: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR, v. v. i.,. Date of the patent acceptance: 18.03.2020. Patent Number: 308307
R&D Projects: GA ČR GA15-07908S
Institutional support: RVO:67985882
Keywords : metal-dielectric diffraction grating * high diffraction efficiency * spectral filtration
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/308/308307.pdf

Předmětem patentu je odrazivá metalicko-dielektrická difrakční mřížka s vysokou difrakční účinností pro velký rozsah vlnových délek. Mřížka může být opatřena opticky funkční transparentní vrstvou z tvrdého oxidu, která spolu s velmi nízkým povrchovým reliéfem zajišťuje vysokou mechanickou odolnost. Mřížka je vhodná pro fotolitografickou výrobu

We patented a metal dielectric diffraction grating with high diffraction efficiency achievable over broad spectral range. The grating can be covered by an optically functional transparent layer of hard oxide. Such a layer together with a low surface profile provide an excellent mechanical protection to the grating. The grating is suitable for photolithographic process
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0315124