Vývoj a testování fázových destiček

0536670 - ÚPT 2021 RIV CZ cze O - Others
Krátký, Stanislav - Materna Mikmeková, Eliška - Fořt, Tomáš - Radlička, Tomáš - Sháněl, O.
Vývoj a testování fázových destiček.
[Development and testing of phase plates.]
2020
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : transmission electron microscope * phase plates * silicon nitride * charging * EELS
OECD category: Electrical and electronic engineering

Zpráva shrnuje výsledky dosažené při vývoji fázových destiček pro transmisní elektronovou mikroskopii. Velký důraz je kladený na popis přípravy fázových destiček na bázi silikon nitridu (v tloušťkách desítek nm), která je pokovená tenkou naprášenou vrstvou molybdenu pro zvýšení doby života fázové destičky a eliminaci elektrostatického náboje. Tloušťky vrstev byly optimalizované pro výsledný fázový posuv pi/2, který umožní zvýšení kontrastu zejména lehkých prvků v organických vzorcích.

The report summarizes results which we reached in the development of phase plates for transmission electron microscopy. We focused on describing the phase plates with silicon nitride base layer (tens nm thick) covered by sputtered mMolybdenum's thin layer for an increase of the live-time and elimination of electrostatic charging. The thickness of layers was optimized for the final phase-shift of pi/2, enabling an increase of contrast for organic based samples.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314406