Number of the records: 1  

Variabilní objektivová čočka

  1. 1.
    0536667 - ÚPT 2021 RIV CZ cze O - Others
    Radlička, Tomáš - Oral, Martin - Řiháček, Tomáš - Seďa, B. - Vašina, R.
    Variabilní objektivová čočka.
    [Variable objective lens.]
    2020
    R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
    Institutional support: RVO:68081731
    Keywords : scanning electron microscope * variable objective lens * secondary * secondary electrons * resolution
    OECD category: Electrical and electronic engineering

    Zpráva popisující design extenderu objektivové čočky a optické vlastností takového systému. Extender je prstenec s upínacím mechanizmem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima. Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu. Ve zprávě je popsán způsob optimalizace extenderu a nalezení vhodných operačních podmínek. Cílem je nalezení režimu s co nejmenší velikostí stopy svazku na vzorku se současnou optimalizovanou detekcí signálních elektronů (velká účinnost a oddělení sekundárních elektronů a zpětně odražených elektronu). Elektronově optické výpočty byly také porovnány s experimentální měření.

    The report deals with the objective lens extender's design and the calculation of this system's electron-optical properties. The extender is a ring with a fixing mechanism placed on the objective lens pole piece of the scanning electron microscope's objective lens. It changes objective lens parameters: (a) value and position of maximal magnetic flux density (b) electrostatic field of the objective lens in the deceleration regime. The extender system provides better resolution and detection of signal electrons by the in-lens detector of the microscope. The report describes the extender's optimization and the scanning electron microscope's operation regime with the extender. The main goal is to reach the smallest spot size with optimized detection of signal electrons (high collection efficiency and separation of the secondary electron from the rest of spectra). We compare the results of electron-optical calculation with experimental data.
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314403

     
     
Number of the records: 1