Anulární apertury pro skenovací elektronový mikroskop

0536666 - ÚPT 2021 RIV CZ cze O - Others
Radlička, Tomáš - Oral, Martin - Řiháček, Tomáš - Seďa, B. - Vašina, R.
Anulární apertury pro skenovací elektronový mikroskop.
[Annular aperture for Scanning electron microscope.]
2020
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : annular aperture * scanning electron microscopy * resolution * denoising
OECD category: Electrical and electronic engineering

Vědecká zpráva popisující možnosti aplikace anulárních apertur v rastrovací elektronové mikroskopii. Je diskutován jejich vliv na profil svazku a rozlišení. Ukázali jsme, že se výrazně odlišuje hodnota rozlišení pro Rayleigho kritériun a pro standardně používané rozlišení dané průměrem oblasti proudového profilu, která obsahuje 50% proudu. Pomoci simulace obrazu jsme zjistily, že v případě anulárního osvětlení jsou patrné větší detaily obrazu, ale výrazně se zvýší šum v obraze. Simulace obrazu byly použity jako vstup pro algoritmus strojového učení, který umožňuje redukci šumu na úroveň kruhových clon za současného zachování jemnějších detailů, které poskytuje anulární osvětlení.

The research report describes the application of the annular apertures in scanning electron microscopy. We studied the effect of the annular illumination on current beam density profiles and the system's resolution. We showed that the value of resolution differs for the Rayleigh criterion and 50% fraction current criterion. Using image simulation, we find out that annular illumination provides more details of the image, but noise increases. We used the image simulation results as input for the denoising algorithm based on the machine learning approach.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314402