Number of the records: 1
Nástavec pro objektivovou čočku
- 1.0536587 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Seďa, B. - Vašina, R. - Oral, Martin - Řiháček, Tomáš - Radlička, Tomáš
Nástavec pro objektivovou čočku.
[Objective lens extender.]
Internal code: APL-2020-09 ; 2020
Technical parameters: Extender je prstenec s upínacím mechanizmem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima.Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu. Přínos extenderu pro zlepšení vlastností skenovacího elektronového mikroskopu se mění podle operačních podmínek.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Martin Oral, Ph.D., oral@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * variable objective lens * acceptance of signal electrons * secondary electrons * resolution * immersion field
OECD category: Electrical and electronic engineering
Extender pro objektivovou čočku, který mění magnetické a elektrostatické pole objektivové čočky a tím i trajektorie primárních a signálních elektronů. Je designován tak, aby zvýšil detekční účinnost v oblasti sekundárních elektronů při současném zlepšení laterálního rozlišení systému.
Objective lens extender changes magnetic and electrostatic field in the objective lens regions. The trajectories of the primary and secondary electrons are changed in respect to the state without the extender. The extender is designed to increase the detection of secondary electrons and the resolution of the system.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314350
Number of the records: 1