Annulární clona pro SEM

0536585 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš - Oral, Martin - Seďa, B. - Vašina, R.
Annulární clona pro SEM.
[Annular aperture for SEM.]
Internal code: APL-2020-08 ; 2020
Technical parameters: Pro výrobu byl použitý standardní aperturní strip, který je tvořený nosnou křemíkovou vrstvou pokovenou 200 nm vrstvou Molybdenu. Anulární apertura byla vyrobena pomoci technologie iontového fokusovaného svazku.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * diffraction * resolution * annular aperture
OECD category: Electrical and electronic engineering

Anulární clona, kterou lze vložit do mikroskopu místo standardní apertury. Anulární clona poskytuje profil svazku, který má ostřejší centrální maximum, ale více proudu je v bočních maximech proudového profilu svazku. Obraz vytvořený tímto svazkem umožňuje zobrazení jemnějších detailu, ale na druhou stranu se zhoršuje efekt šumu. Nedílnou součástí funkčního vzorku je algoritmus, který zmenšuje šum ve výsledných obrázcích založený na metodách strojového učení.

Annular aperture which can be placed into the microscopy instead of the current limiting apertures. The annular illumination provides sharp central peak, but higher fraction of the current is in outer tails of the current beam density profile. The image obtained by this type of beam provides imaging more details of the sample, by the noise effect increases. The denoising algorithm based on the machine learning approach is part of the functional sample.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314349