Manipulátor držáku vzorku spektrometru s mikrometrickým posuvem a spektrometr s uvedeným manipulátorem

0533649 - ÚPT 2021 RIV cze P1 - User Module
Mika, Filip - Dupák, Libor - Pokorná, Zuzana
Manipulátor držáku vzorku spektrometru s mikrometrickým posuvem a spektrometr s uvedeným manipulátorem.
[Manipulator with micrometric sample positioning and spectrometer with this manipulator.]
2020. Owner: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 08.09.2020. Utility model number: 34364
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : manipulator * micrometric sample position * spectrometer
OECD category: Materials engineering
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0034/uv034364.pdf

Řešení pro elektronový spektrometr s mikromanipulátorem vzorku vhodné pro určování koncentrace dopantů v polovodičích na základě měření obrazového kontrastu.

Miniature electron spectrometer with sample micromanipulator suitable for the determination of dopant level in semiconductors through image contrast measurement.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0311976